真空度測試儀漏電電流的處理

真空度測試儀均采用基于電離電荷的采樣技術。我公司專家在磁控放電的研究中發現：在外激勵電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時，真空滅弧室內的真空度與電離的電荷量有非常準確的對應關系，而與電離電流的峰值僅有概率上的相關性。因此，我公司基于電離電荷的采樣技術，顯著提高了真空滅弧室的真空度計量的準確性。

漏電電流的處理

對處于分斷狀態的真空滅弧室兩端加高壓時，會有數值不等的幾個微安的漏電電流，此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體差異。尤其是對于裝在整機上的真空滅弧室，由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電，這些漏電的總和有更大的不穩定性和不可預測性，并且在數值上與10E-4Pa數量級的真空滅弧室的電離電流相當。我們采用兩次起動高壓的方法，扣除了漏電電流，保證了無論是裝于整機上還是待裝的真空滅弧室的真空計量精度。